以活性炭為載體對吸附半導(dǎo)體煙道氣中含鹵素的有害污染物有效果

以活性炭為載體，載有3%-18%堿金屬甲酸鹽和（或）堿土金屬甲酸鹽，具有比表面積700-2500㎡/g，較可取的是1000-2500㎡/g和4-32目大小，以此吸附半導(dǎo)體煙道氣中含鹵素的有害污染物，例如氯、碘、氟化氫、氯化氫、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、四氯化硅、四氯化鈦、三氯化鋁、四氟化鎢.